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UEDA, M.; BELOTO, A. F.; REUTHER, H.; PARASCANDOLA, S. Plasma immersion ion implantation of nitrogen in Si: formation of SiO2, Si3N4 and stressed layers under thermal and sputtering effects. Surface and Coatings Technology, v. 136, n. 1-3, p. 244-248, Feb 2001. (INPE-13581-PRE/8791). Disponível em: <http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZ3r59YDa/KnN49>.

Como Fazer a Citação no Texto (por autor/ano)

... como proposto por Ueda et al. (2001).
... pode ser encontrada na literatura (UEDA et al., 2001).



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